キタミカ ユウダイ
  北御門 雄大
   所属   福岡教育大学  教育学部 技術教育研究ユニット
   職種   講師
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2017/05
形態種別 学術論文(学術雑誌)
査読 査読あり
標題 高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した(Cr,Al,Si)Nの表面特性
執筆形態 共著
掲載誌名 表面技術
掲載区分国内
巻・号・頁 68(5),298-302頁