キタミカ ユウダイ
北御門 雄大
所属
福岡教育大学 教育学部 技術教育研究ユニット
職種
講師
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2017/05
形態種別
学術論文(学術雑誌)
査読
査読あり
標題
高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した(Cr,Al,Si)Nの表面特性
執筆形態
共著
掲載誌名
表面技術
掲載区分
国内
巻・号・頁
68(5),298-302頁