オノダ　ジョウ   小野田　穣    所属   福岡教育大学  教育学部 理科教育研究ユニット    職種   講師
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2023/08
形態種別	総説・解説（学術雑誌）
査読	査読あり
招待論文	招待あり
標題	2探針走査トンネル顕微鏡による半導体表面の電気伝導測定
執筆形態	単著
掲載誌名	顕微鏡
掲載区分	国内
出版社・発行元	公益社団法人 日本顕微鏡学会
巻・号・頁	58(2),76-79頁
総ページ数	4
概要	2探針走査トンネル顕微鏡（STM）による半導体表面の電気伝導測定において，金属探針と半導体表面間にSchottky障壁が形成されるため，大きな接触抵抗を示すことが問題であった．本稿では，探針－表面間における再現性の良いOhmic接触の形成が電気伝導測定にとっていかに重要であるかを紹介する．本手法とSTMリソグラフィーを組み合わせることで様々な表面ナノ領域の電気伝導特性を調べることが可能となる．